真空设备的详细环境要求

对环境的真空要求通常包括周围环境对真空设备的要求，例如实验室（或车间）中的温度，湿度和空气中的微粒，以及对真空中的零件或表面的要求或真空。 。这两个方面密切相关。周围环境的质量直接影响真空设备的正常使用，真空腔或真空设备内部的零件是否清洁直接影响设备的性能。如果空气中包含大量的水蒸气和灰尘，则难以通过使用油封机械泵来抽出空气而不清洁真空室来达到所需的真空度。众所周知，油封式机械泵不适用于去除对金属有腐蚀性，对真空油具有化学反应性并且含有粉尘的气体。水蒸气是可冷凝的气体。当泵泵送大量可冷凝气体时，泵油的污染将更加严重。结果，将降低泵的极限真空，并破坏泵的泵送性能。工业环境中的粉尘以粉末，烟雾和粉尘为特征。粉末是处于粉末或固体颗粒的聚集或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合，而颗粒是指可以一一计数的微小物质。气雾剂是一种物质系统，其中固体或液体的小颗粒以悬浮状态存在于气体中。无论物质是固体还是液体，所有颗粒统称为尘埃颗粒。尘粒的大小用于确定空气洁净度的标准，从而形成洁净室的水平，不仅适用于有洁净度要求的工业领域，也适用于洁净环境中的真空度要求。常规真空工艺的环境要求所谓常规真空工艺是指没有特殊要求的真空工艺。此类真空设备（设备）的真空卫生要求为：处于真空状态或处于真空状态的真空设备的所有零件或表面都不需要累积污染源。无灰尘，无铁屑，表面无生锈。 ②真空设备的真空室表面应光滑，无软组织和气孔，无死角，无影响焊缝内部真空的缺陷。在高真空设备中，真空室内的移动部件一定不能使用发动机油作为润滑剂，而应使用饱和蒸汽压低的扩散泵油和硅油作为润滑剂。高真空润滑脂可用于法兰，门和观察窗的密封部分。 ④无油超高真空系统（又称“清洁超高真空系统”）应避免油蒸气影响工作介质的纯度，表面特性或工作性能，并提供清洁的超高真空环境。一定的过程。某些零件可以使用无氧铜，科瓦合金，纯金，纯银，钨，钽，钼，钛等。玻璃和真空瓷器通常用作绝缘材料。不能使用高分子聚合物，因为它们可能分解碳氢化合物并污染系统。不能使用具有高饱和蒸气压的材料，例如锌及其合金。材料超高真空系统中材料的排气是限制真空度增加的重要因素。一方面，使用诸如清洁，抛光，在真空柜中存储零件或真空预热和脱气之类的方法来降低气体输出速率，以改善材料的原始加工。另一方面，在真空系统中进行高温烘烤和脱气的方法也可以用来加速材料的脱气过程，从而使吸附和吸收在材料表面的气体分子迅速释放和排出。 ，冷却后材料的除气率将降低几个数量级。因此，对于通常需要达到10-7Pa以下压力的真空系统，必须对其进行烘烤和脱气。 ⑤真空设备通常应在清洁的空气流通环境中工作温度在15到30摄氏度之间，相对湿度不超过70％。冷却水入口温度不应高于25°C。的真空设备所在的实验室或车间应保持清洁卫生。地板为水磨石或木漆，无尘。为了防止机械泵的排气污染实验室环境，可以在泵的排气口安装排气管（金属，橡胶管）以将气体排出室外。