真空计：薄膜真空计概述

量规管分为两个带有金属弹性膜的腔室，一侧连接到被测系统，另一侧用作参考压力室。当压力变化时，薄膜随之变形。变形量可以通过光学方法测量，也可以使用电气方法转换为电容或电感的变化。也可以使用附着在薄膜上的应变仪进行测量。近年来，电容膜片计的发展迅速，并已广泛用于科学研究和工业领域。电容膜厚计分为两种：一种是密封膜的一侧作为参考真空，然后变为“绝对压力”型电容器膜厚计，另一种是膜的两面都充满了人的气体，并且成为“压差式电容器薄膜调节器”。电容膜片规具有出色的线性度，高测量精度和分辨率。单个传感器的测量范围可以覆盖5个数量级的压力范围，短期稳定性优于0.1％，长期稳定性（一年）优于0.4％。电容器膜厚计的灵敏度与气体类型无关。它可以测量蒸汽和腐蚀性气体的压力。它具有坚固的结构，易于使用。它也可以用作低真空和低真空的不合格标准和传输标准。电容器膜厚计的基本结构如图11-16所示。它由两个相同的圆形固定电极和一个公共的可移动电极组成。可动电极膜将空间划分为密闭的测量室和基准室。固定电极和可动电极膜构成差动电容器，并用作电桥的两个桥臂。当可移动电极处于中间位置时，两个电容器的电容相等。一旦可移动电极由于压力差而偏离中间位置，则一个电容器的电容增加而另一电容器的电容减小。天平产生输出电压，该输出电压由放大器放大，并由检测器转换为直流电压以进行测量。不同的输出电压对应于不同的压力。电容膜片计使用此原理来达到测量压力的目的。电容器膜厚计的压力测量范围与膜片的厚度，直径，材料和张力有关。目前，可用的电容器膜厚计包括满量程13.3Pa，133Pa，1.33kPa，13.3kPa，133kPa，1.33MPa和3.32MPa，可覆盖的压力范围为10 ^ -3Pa〜10 ^ 6Pa。